| OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî ÁÖ/°£/½Ã/Ȳ |
| 2010³â 11¿ù 16ÀÏ(È) 17:34 |
OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ´Â ÀüÀÚ¼ÒÀ縦 °³¹ß »ý»êÇÏ¸é¼ ¼ºÀåÇß´Ù. Ư¼ö¿¬¸¶Á¦(Ganet, Cerium)¿Í 2Â÷ÀüÁö¿ë À½±ØÈ°¹°Áú(Graphite)À» °³¹ß Çß´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¹× LCD¿ë Ư¼ö°¡½ºÀÎ NF3(»ïºÒÈÁú¼Ò), WF6(À°ºÒÈÅÖ½ºÅÙ), SiH4(¸ð³ë½Ç¶õ) °³¹ß¿¡ À̸£±â±îÁö ¿¬±¸ °³¹ß¿¡ Èû½á ¿Ô´Ù.
OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â Áö³ÇØ ¸» OCI°¡ ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀçÀÇ ÁöºÐ 49.1% È®º¸ÇÑ ÀÌ·¡, OCI °è¿»ç·Î¼ ÅëÇÕµÈ À̹ÌÁö¸¦ À§ÇØ ÇöÀç »ç¸íÀ¸·Î º¯°æÇß´Ù. ¼¼°èÀûÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼¿Í LCD µîÀÇ ¼³ºñ°¡µ¿·üÀÌ °¡ÆÄ¸¥ ȸº¹¼¼¸¦ º¸À̰í ÀÖ°í, ¿Ã »ó¹Ý±â ¸ÅÃâ¾×Àº Áö³ÇØ °°Àº ±â°£ ´ëºñ 33.1% Áõ°¡ÇÑ 1111¾ï ¿øÀ» ±â·ÏÇß´Ù.
OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî ¸ÅÃâÀÇ 90% ÀÌ»óÀÌ ¿ÜȰáÁ¦ÀÎ °ü°è·Î ȯÀ² º¯µ¿¿¡ µû¶ó ¿ø°¡À²°ú ¼öÀͼºÀÌ Å©°Ô Á¿ìµÈ´Ù. ¸ð³ë½Ç¶õ ¹× NF3 ´Ü°¡ ÀÎÇÏ µîÀ¸·Î ¼öÀͼº ¾ÇÈ ¿äÀÎÀÌ ÀÖ¾úÀ¸³ª, ¹Ý±â ¿µ¾÷ÀÌÀͰú ¼øÀÌÀÍÀº Áö³ÇØ °°Àº ±â°£ ´ëºñ °¢°¢ 29.4%, 35.6% Áõ°¡Çß´Ù.
¼¼°è °æ±â´Â ȸº¹µÇ°í ÀÖÀ¸¸ç OCI¸ÓƼ¸®¾óÁîÀÇ Àü¹æ»ê¾÷ÀÎ ¹ÝµµÃ¼, LCD, Ư¼ö°¡½º ¹× 2Â÷ÀüÁö ¼ÒÀç ºÐ¾ß¿¡¼ÀÇ ¼ö¿ä Áõ°¡¼¼°¡ Áö¼ÓÇÒ Àü¸ÁÀÌ´Ù. ÁÖ·Â Á¦Ç°ÀÎ NF3ÀÇ °ÇÑ ¼ö¿äµµ ÃÖ±Ù ½ÇÀû È£Á¶¸¦ µÞ¹ÞħÇϰí ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ NF3 ½Å±Ô°øÀåÀÇ Áõ¼³ °¡µ¿À¸·Î °ø±Þ´É·Â ¹× ½ÃÀåÁö¹è·ÂÀÌ È®´ëµÇ°í ÀÖ´Ù. žçÀüÁöÀÇ ¼ö¿äµµ Ãֱ٠ȸº¹¼¼¸¦ º¸ÀÓ¿¡ µû¶ó Æú¸®½Ç¸®ÄÜ ¼ö¿äµµ Áõ°¡Çϰí ÀÖ¾î ¸ð³ë½Ç¶õ ¼ö¿ä¸¦ °ßÀÎÇÒ °¡´É¼ºÀÌ Ä¿Áö°í ÀÖ´Ù.
±Û / Á¤¿À¿µ ÆòÅÃÃ̳ðÅõÀÚÀü·«¿¬±¸¼Ò ´ëÇ¥